تشير المعالجة الدقيقة إلى مصطلح عام يشير إلى دقة المعالجة وتشطيب السطح الذي يتجاوز تلك المستخدمة في طرق التشطيب التقليدية. ويشمل بشكل أساسي القطع الدقيق (مثل ثقب الماس والخراطة الدقيقة) والطحن عالي الدقة-. دقة تصنيعها هي عادة 10~0.1μm، مع درجة تحمل IT5 أو أعلى، وخشونة السطح Ra أقل من 0.1μm. تتطلب هذه العملية أدوات آلية عالية الدقة- وأدوات قطع أرضية دقيقة، لتحقيق تصنيع آلي عالي الدقة-من خلال أعماق صغيرة للغاية من معدلات القطع والتغذية. وفي معدات معالجة أشباه الموصلات بالليزر، يتم تطبيق تقنيات مثل الكتابة بالليزر ووضع العلامات وفك الارتباط، ويتضمن تصميم وتصنيع -أنظمة بصرية عالية الدقة.
تشتمل هذه العملية على تقنيات مثل الختم الدقيق لإطارات الرصاص شبه الموصلة وتصنيع شفرات المحرك الهوائي-. حققت بلدي دقة تصنيع أقل من -نانومتر- للمكونات البصرية، مما أدى إلى اختراق التقنيات الأساسية مثل علم الهيولوجيا المغناطيسية ومعدات التلميع بالشعاع الأيوني. تقترح مبادرات السياسة تحقيق اختراقات في التقنيات الرئيسية للتشكيل الدقيق ومعالجة المواد خفيفة الوزن، وتشكيل نظام ابتكار تعاوني للمواد والعمليات والتطبيقات في مجال وزن السيارات. حققت آلات التلميع بالشعاع الأيوني الحد الأدنى من معدل إزالة المواد الذي يمكن التحكم فيه وهو 0.1 نانومتر، مما يوفر الدعم الفني لمشاريع العلوم والتكنولوجيا الوطنية الكبرى مثل تصنيع الدوائر المتكاملة.
